碳化硅研磨拋光片生產通常用哪些型號綠碳化硅微粉呢？
| 粒度 | 中值D50(um) | 粒度 | 中值D50(um) |
| #240目 | 57.0±3.0 | #1200目 | 9.5±0.8 |
| #280目 | 48.0±3.0 | #1500目 | 8.0±0.6 |
| #320目 | 40.0±2.5 | #2000目 | 6.7±0.6 |
| #360目 | 35.0±2.0 | #2500目 | 5.5±0.5 |
| #400目 | 30.0±2.0 | #3000目 | 4.0±0.5 |
| #500目 | 25.0±2.0 | #4000目 | 3.0±0.4 |
| #600目 | 20.0±1.5 | #6000目 | 2.0±0.4 |
| #700目 | 17.0±1.5 | #8000目 | 1.2±0.3 |
| #800目 | 14.0±1.0 | #10000目 | 0.9±0.1 |
| #1000目 | 11.5±1.0 |
